层流洁净室-高级别洁净室的建造费用很高,一般来说,100级垂直单向流的洁净室,其室内装修(墙、顶、地、门、窗等)和空调净化系统(包括制冷空调设备和管道配件、净化设备和配件等)的初投资大约为1000元人民币/M2;如果加上纯水制备和系统管道,纯气发生和系统管道,废水治理设备和管道,消防系统,供配电和自控系统,真空清扫系统等等,其单位面积的建造投资费用要高达25000~30000元人民币/M2。
就拿已投产的上海华虹NEC超大规模集成电路芯片生产线洁净室举例来说,华虹NEC为月投片30000片8„硅片集成电路前工序生产线,有洁净室面积约12000M2,其中10000M2是在中心部位,另2000M2边跨上.在中心部位的10000 M2洁净室中有4000 M2的1级\10级和100级的垂直单向流洁净室,另外6000 M2分别为1000 级和10000级和非单向流洁净室,总送风量约6,400,000M3/H.于1998年底建成投产。该项目总投资约100亿人民币,其中动力设备和土建投资为20亿人民币,占总投资的五分之一。单该核心部分的10000 M2的洁净室的建造费用就高达6000万美元(约5亿人民币)日本三机株式社会施工),折合每平方米建造费用约50000元人民币/M2-山东康德莱净化工程有限公司成立于2013年,多年致力于空调洁净技术的开发与研究。主要从事于医疗行业、食品行业、药品行业、电子行业的局部环境的无尘和无菌环境的设计、安装和检测等业务以及家庭和工作环境的新风净化系统的集设计、制造、安装、维护、保养于一体的大型专业工程设计安装的专业净化工程公司。
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上一条:无尘车间生产中的应用范围