洁净车间的监控系统/设备由整套系统提供，FMCS负责系统操作数据的收集和控制，系统包的监控系统/装置应提供通用的接口，要求溶剂回收系统、废水提升系统、FFU系统、大宗气体及纯化气系统、工艺真空系统、纯水系统等提供OPC接口。洁净车间所有运行参数及状态通过通讯上传至FMCS。

1.硬件配置

洁净车间采用PLC控制，所有的硬接线点可以通过PLCs监视并/或者控制。洁净车间中每个PLC都是完全独立的控制器，利用所有固件和软件，在独立的基础上实现全部控制。其中CUB和FAB空调机房PLC采用冗余控制器（不接受软件冗余），FAB其他部位PLC可采用非冗余控制器。

PLCs控制器和远程I/O之间，洁净车间中，采用光纤进行通信连接以抑制干扰和预防雷击，且所有硬件模块应满足ISA-S71.04 G3防腐标准。系统PCs在满足系统要求的基础上采用主流稳定的规格配置。

FMCS网络采用冗余网络，网络上的本地集线器/交换机需要通风设备，以避免过热。洁净车间中，网络配置管理器采用RJ-45以太网适配器，放在有门的接线盒里，包括盒和集线器之间的线路，为了集成系统包和设备包的数据，FMCS系统至少应支持以下通信协议和接口：OPC DA&AE、OLE-DB、Modbus RTU&TCP、Profibus DP&PA、IEC61850、Profinet I/O、Hart等。

2.系统软件

控制系统软件可以定义多个级别的用户，密码保护和安全保证，包含全面制图功能、报警管理、实时和历史记录，并提供实时过程数据。FMCS洁净车间软件采用统一的系统平台，统一的数据库，可以实现以下功能：PLC控制程序编程和下装、图形编辑工具、IEC61131-3编程语言、数据点配置和管理、系统诊断和设备管理、历史趋势、报警和报表组态等。

FMCS洁净车间的监视点包括工厂系统的仪器，阀门和传感器信号，这些信号通过硬连线的I/O通道连接，以及通过以太网和OPC接口，连接其他系统和成套设备所提供的数据，其监控类型包括AI-模拟量输入通道（4～20mA）、AO-模拟量输出通道（4～20mA）、DI-开关量输入模块（24V DC）、DO-开关量输出通道（24VDC，0.5A配继电器隔离）、集成系统包OPC Item数据和History Logs数据。要求防爆区域的信号必须经过安全栅接入PLC。

每个洁净车间的输出通道必须保持其自身传输值的安全性，也就是说，它可以自动执行测试控制器和输出卡之间的通信超时。当洁净车间中的控制器故障或通信超时时，输出通道可以根据组态保持在最后一次的输出值或输出一个预先设定的安全值。

下层现场监控系统则用于现场监控的系统由控制器、传感器、变送器、执行器及线路工程等组成，净化工程应用于空调机组、一般排风、低温冷冻水系统、中温冷冻水系、PCW系统、空压系统、一般给排水系统、锅炉系统等。