洁净室气密性检测方法

 G.1    原    理

G.1.1     保持室内为正压或负压均能满足检验要求，但条件允许

时，负压洁净室宜用正压检验，正压洁净室宜用负压检验。

G.1.2  可按以下方法进行检测：

1  压力衰减法

使室内达到某一压力(正压或负压),关闭加压或抽负压系 统，观察压力随时间衰减的情况，记录下压力衰减到起始压力的

一半时所用的时间，即为测量室内正压或负压的半衰期。

2  恒压法

使室内达到某一正压，同时向室内补气，使室压达到要求的 稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量。使室内达到某一负压，

使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量。

 G.2    压力衰减法

 G.2.1     测试系统如图G.2.1   所示。

G.2.2     可按以下步骤进行检测

1  将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定，记 录压力衰减测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的

最小示值不宜大于0.1℃)。

2  关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等，关闭回风 管(或排风管)上的气密阀门，不得在风口上加其他密封措施，

并维持各种孔洞缝隙的密封现状。

3  开启送风，使室内压力上升至已商定的测试压力(压力 计量程至少为测试压力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa), 压

力稳定后，停止送风，关闭送风阀门。