洁净室气密性检测方法

G.1    原    理

G.1.1     保持室内为正压或负压均能满足检验要求，但条件允许

时，负压洁净室宜用正压检验，正压洁净室宜用负压检验。

G.1.2  可按以下方法进行检测：

1  压力衰减法

使室内达到某一压力(正压或负压),关闭加压或抽负压系 统，观察压力随时间衰减的情况，记录下压力衰减到起始压力的

一半时所用的时间，即为测量室内正压或负压的半衰期。

2  恒压法

使室内达到某一正压，同时向室内补气，使室压达到要求的 稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量。使室内达到某一负压，

使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量。

G.2    压力衰减法

G.2.1     测试系统如图G.2.1   所示。

G.2.2     可按以下步骤进行检测

1  将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定，记 录压力衰减测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的

最小示值不宜大于0.1℃)。

2  关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等，关闭回风 管(或排风管)上的气密阀门，不得在风口上加其他密封措施，

并维持各种孔洞缝隙的密封现状。

3  开启送风，使室内压力上升至已商定的测试压力(压力 计量程至少为测试压力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa), 压

力稳定后，停止送风，关闭送风阀门。

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1-洁净室；2—送风机；3—调节阀；4—密闭阀；5--微压计；6一排风机

4  或反之关闭送风管上的阀门，如果送风管上无阀或阀不 严，应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口，开启排风， 使室内压力下降至已商定的测试压力，压力稳定后，停止排风，

关闭排风气密阀门。

5  从停止送(排)风起，记录压力随时间衰减的数据，每 1min 记录1次压差和温度，连续记录至室内压力下降至初始压

力的一半时止。

6  测试结束后慢慢打开风阀，使房间压力恢复到正常状态。7  如果需要进行重复测试，20min 后进行。

8  当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。

G.2.3     检测报告应包括以下内容，

1  检测条件，包括室内温度等。

2  检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度；所测

洁净室压力、温度的动态变化；检测持续的时间。

3  检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1/ 2时的时间内压力衰减率；所测洁净室围护结构严密性的

评价。

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G.3     恒  压  法

G.3.1  测试系统如图 G.3.1 所示。

图 G.3.1  恒压法测试系统

1—洁净室；2—送风机；3—调节阀；4—密闭阀；5 微压计；

6—排风机；7—气泵；8—流量计；9—真空泵

注：正压检验时用气泵，负压检验时用真空泵

G.3.2      可按以下步骤进行检测：

1  将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定，记 录测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的最小示值

不宜大于0.1℃)。

2  关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等，关闭回风 管(或排风管)上的阀门，如果风管上无阀或阀不严，应在回风

口(或排风口)上用塑料膜加盲板的方法封住风口。

3  开启送风，使室内压力上升至500Pa,   停止送风，关闭

送风阀门。

通过围护结构上的孔洞和导管，由送风机或空气压缩机向室 内补气，通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量，以维持 洁净室内的压力稳定不下降，每隔1min 记录一次补气管路上浮

子流量计读数，此数即为漏气量，测试持续的时间宜不超过

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