一 般 规 定
9.1.1 先检查零部件再施工系统,以减少返工。
9.2 线 路
9.2.1 这是为了保证人身和工作(生产)的安全以及维护检修 的方便,也减少对生产的影响。
9.2.2 穿线管口密封对洁净室来说尤为重要,这些地方都是压 力漏泄难以发现之处。
9.2.5 不能图方便而省去专用接地线直接用线槽跨接,这是由 于可能因线槽质地而影响接地电阻。
9.3 电气设备与装置
9.3.2 洁净室墙体上嵌装的一切装置包括配电盘等均应遵守尽 量不突出墙面、不易积灰的原则。
9.3.3 主要是为了减少一旦检修时对室内的污染。
9.3.5 单向流静压箱底面(室内一面)上穿过螺栓之类而造成 严重漏泄并很难补修的孔洞很多,即使焊住也不行,螺纹处仍 漏,加上螺帽,打上胶都难以封住。必须时只能把螺杆根部焊在
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